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硅片抛光机

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硅片抛光机

发布时间:2017-06-22


 硅片抛光机.jpg

圆柱硅片抛光机主要用途:该机主要适用用各种大尺寸硅片及晶体材料的抛光。

圆柱硅片抛光机工作原理:本系列硅片抛光机由四个吸附盘吸附硅片与抛光盘做逆时针旋转来达到抛光的目的。

圆柱硅片抛光机,硅片抛光机特点:

1.本系列抛光机的吸附盘由四台单独的电机驱动、速度与压力可调。

2.控制系统中采用PLC彩色终端等先进技术,系统的响应速度更快、更精确,并具有远程监控,远程维护的功能;

3.本系列抛光机运行平稳,抛光后的产品厚度公差可控制在正负0.002mm范围内,粗糙度可达到0.0005mm。

圆柱硅片抛光机设备规格:

型   号

YM-18A

YM-24A

YM-36A

YM-48A

抛光盘规格

φ460*φ140

φ610*φ200

φ910*φ300

φ1220*φ400

最大抛光尺寸

φ150mm

φ200mm

φ300mm

φ450mm

抛光后平面度

±0.5u以内

±0.7u以内

±1u以内

±1u以内

工件平行度(25mm)

±1u以内

±1.5u以内

±2u以内

±2u以内

工件粗糙度

0.4nm以内

0.4nm以内

0.4nm以内

0.4nm以内

抛光盘电机功率

2.2kw 3相380V

3.7kw  3相380V

7.7kw  3相380V

11kw  3相380V

抛光盘转速

0~120rpm

0~100rpm

0~80rpm

0~60rpm

外形尺寸

700*1100*1100mm

950*1200*2200mm

1200*1400*2300mm

1500*1700*2400mm

重量

960kg

1800kg

2600kg

4500kg

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